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在真空設備使用運行階段，時常出現設備氣密性下降，總體漏率上升的情況，這是影響真空設備正證常工作的主要原因。造成這種現象的原因包括：機械振動造成連接部位松動；經常拆卸部位的密封圈可能損壞或安裝不正確；由于冷、熱沖擊而發生變形和疲勞破壞；某些部件或材料因受工作介質的腐蝕而破壞；某些原本被水、油或其他臟物堵塞的漏孔重新釋通；以及應力集中而造成裂紋等。正確使用真空設備，應該將檢漏工作納入真空設備日常維護、管理規范之中，例如定期做靜態升壓檢測實驗。操作人員發現設備氣密性下降應及時解決，根據其設備使用情況和故障現象來分析泄漏原因，并采取適當的檢漏手段，檢出漏孔位置，及時修補。不要等到設備出現多種、多處泄漏，已經無法正常工作時再去檢漏維修。另外，平時準備充足的密封備件，定期（而不是出現問題后）更換易損件，也是做好真空檢漏工作、以保設備正常運行的主要措施。